晶圓制造是一個(gè)循序漸進(jìn)地制造電子電路的過(guò)程。
通過(guò)簡(jiǎn)化,在硅晶圓的制造過(guò)程中,幾個(gè)集成電路被放置在一個(gè)半導(dǎo)體晶圓上。然后將晶圓切成小塊并包裝。在進(jìn)行 切割之前,需要對(duì)電路進(jìn)行測(cè)試。這種電氣測(cè)試是在探針卡的幫助下進(jìn)行的。
什么是探測(cè)卡?
探針卡基本上是一個(gè)接口,在被測(cè)設(shè)備(即半導(dǎo)體晶圓)和測(cè)試系統(tǒng)電子之間提供電氣和機(jī)械接觸。
探針卡由以下元素組成
?多層有機(jī)襯底(MLO)
?PCB的
晶圓測(cè)試系統(tǒng)由不同部分組成:
?被測(cè)晶圓[DUT]被分配在晶圓夾頭上
?探針卡連接到晶圓上,作為模具粘接墊和測(cè)試系統(tǒng)之間的連接器。
如何測(cè)試探測(cè)卡?
到目前為止,我們已經(jīng)看到探針卡是晶圓測(cè)試系統(tǒng)的一部分,但是在集成到晶圓測(cè)試系統(tǒng)之前,必須對(duì)其進(jìn)行測(cè)試。隨著設(shè)備I/O帶寬和功 率需求的增加,在電氣測(cè)試過(guò)程中必須滿足對(duì)高性能功率和信號(hào)傳遞的要求。這些要求對(duì)探針卡的測(cè)試提出了挑戰(zhàn)。
憑借多年的探針卡測(cè)試經(jīng)驗(yàn),Seica設(shè)計(jì)了PilotV8 XL HR Next>系列,這是唯一可以提供探針卡測(cè)試的完整解決方案的飛針測(cè)試系統(tǒng)。
PilotV8XL HR Next>系列在一個(gè)獨(dú)特的系統(tǒng)中匯聚了三個(gè)不同的工具來(lái)執(zhí)行:
?裸板測(cè)試單MLO?和PCB測(cè)試
?用于組裝電路板測(cè)試的ICT和功能測(cè)試
?PCB+MLO?探針卡測(cè)試
?ICCT (Integrity Connection Certification Test): MLO與PCB之間的連接完整性認(rèn)證。
Pilot V8 XL HR Next>系列硬件功能
Pilot V8 XL HR Next>系列的主要硬件特點(diǎn):
?立式平臺(tái)(也可裝圓板)
?8完全獨(dú)立的軸
?正面:2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)探頭+ 2小時(shí)
?背面:4個(gè)標(biāo)準(zhǔn)探頭
?大測(cè)試面積800×650 mm
?激光傳感器完全翹曲控制
PilotV8 XL HR Next>系列“照顧”MLO?焊盤(pán)
任何要測(cè)試的敏感產(chǎn)品都必須平衡探針接觸力,以免在待測(cè)墊上留下痕跡。
避免在模塊上有任何劃痕和可見(jiàn)標(biāo)記的最佳方法是垂直于MLO?的Z軸運(yùn)動(dòng)。通過(guò)這種方法,探頭可以保證最好的接觸,而不留下任何痕跡或擦洗。
任何其他不同的角度在Z軸的運(yùn)動(dòng)將大大增加機(jī)會(huì)留下劃痕的模具墊。
當(dāng)探針卡完全組裝好,MLO?安裝在PCB接口上時(shí),必須進(jìn)行最后的ICCT測(cè)試,以測(cè)試MLO?和PCB接口本身之間每一個(gè)單獨(dú)連接的完整性。
PilotV8 XL HR Next>系列將自動(dòng)生成特定的測(cè)試,考慮到每條路徑的阻力可能各不相同。